東芝情報システム株式会社

深さ数μmの微細なキズや異物も見逃さない 光学検査技術「OneShotBRDF®

東芝特許技術

熟練検査員による目視検査に頼っていた微細なキズや異物の検知を、
独自の散乱光検出技術によりワンショットで撮像・検知

光の反射角度を選択する「多波長同軸開口フィルター」を組み合わせた独自の手法により、欠陥凹凸のわずかな散乱光をワンショットで撮像可能にする技術です。

こんなお悩みありませんか?

「検査工程の自動化」が解決策の1つだが
微細なキズや異物が検出できない。

悩み1 検査コスト上昇

  • 検査工程は熟練検査員に頼っているため、検査コストが高くなる
  • 労働力の減少による人手不足のため、人件費が高騰している

悩み2 検査品質低下

  • 検査員のスキルによる検査基準のバラツキがある
  • 不良の見逃しが発生するため顧客からの返品が発生している

光学検査技術「OneShotBRDF」による解決

その課題 光学検査技術「OneShotBRDF」が解決します

Point1

観測困難なミクロなキズや凹凸を可視化

Point2

多波長同軸開口による散乱光識別で高速検査

Point3

画像識別困難なキズも、色で識別

光学検査技術「OneShotBRDF」が解決します

見えにくい表面性状を可視化

通常のカメラでは双方白い表面であり違いを判断しがたい紙を、表面状態を色に分解して表示

見えにくい表面性状を可視化

光学検査技術「OneShotBRDF」とは

反射光の方向分布(BRDF:Bidirectional Refl ectance Distribution Function)により微小欠陥を色情報として取得することで、深さ数μmの微小欠陥を瞬時に鮮明な画像にできるワンショットBRDF技術です。
さまざまなサンプルの微小欠陥を鮮明化でき、さらに、微小凸形状の光沢面の傾斜角分布も高精度に計測できます。

光学検査技術「OneShotBRDF」とは
特長
  • ワンショットで高速検査 (1-100fps)
  • 高精度 (数μmの深さ)
  • 広い検査範囲
多波長同軸開口フィルタ

キズにより発生した散乱光のわずかな変化を「多波長同軸開口フィルタ」を通して撮像することで微細欠陥認識を簡易化できます。

2019年光学設計優秀賞を受賞
日本光学会主催
本散乱光解析技術を適用した照明設計

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光学検査技術「OneShotBRDF」 概要資料

光学検査技術「OneShotBRDF」 概要資料

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